#Nanotechnologie #Biosenzory #EUVlitografie

www.metro.cz

Společnost Imec předvedla první výrobu pevných nanopórů v měřítku waferu pomocí EUV litografie - Metro.cz

Společnost Imec dosáhla první úspěšné výroby pevných nanopórů v měřítku waferů pomocí EUV (extrémní ultrafialové) litografie na 300mm waferech (křemíkových destičkách).